氦检漏检测

点击：919丨发布时间：2025-05-14 21:28:28丨关键词：CMA/CNAS/ISO资质，中析研究所，氦检漏检测

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参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。

因业务调整，暂不接受个人委托测试，望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师。

检测项目

1.真空系统密封性测试：泄漏率≤110⁻⁹mbarL/s（依据ISO20485Class1标准）
2.压力容器整体泄漏率：测试压力0.5-2.0MPa时泄漏量≤110⁻⁷mbarL/s
3.管道焊缝渗透性检测：允许最大泄漏率510⁻⁶mbarL/s（ASTME499规范）
4.电子元件封装气密性：氦气浓度100ppm下保压30min无逸散
5.低温设备绝热层完整性：真空夹层泄漏率≤110⁻⁸mbarL/s（GB/T11813附录B）

检测范围

1.航空航天部件：火箭燃料贮箱/航天器舱体/航空发动机燃烧室
2.核工业设备：反应堆压力容器/核燃料运输罐/放射性物质密封罐
3.半导体制造设备：晶圆反应腔体/高纯气体输送管路/真空镀膜机
4.医疗器械：人工心脏瓣膜封装/血液透析器/医用加速器真空系统
5.汽车零部件：燃料电池双极板/新能源电池包壳体/空调制冷管路

检测方法

1.ASTME499-14：质谱仪示踪气体法真空箱测试规程
2.ISO20485:2017：密闭系统氦泄漏率分级与测量方法
3.GB/T11813-2008：核用不锈钢承压设备氦质谱检漏技术要求
4.GB/T34874.3-2017：光学元件真空密封性试验方法（氦喷吹法）
5.ASMEBPVCSectionVArt.10：承压设备真空氦累积法验收标准

检测设备

1.InficonHLD5000：四极杆质谱仪（灵敏度510⁻mbarL/s），含自动校准模块
2.LeyboldPHOENIXL300i：双通道检漏仪（测试范围110⁻~110⁻mbarL/s）
3.AgilentVS-SNS220：真空系统专用检漏台（集成机械泵+分子泵组）
4.PfeifferASM340TSP：涡轮分子泵质谱仪（响应时间＜3s），支持SNIFFER模式
5.EdwardsTIC100Pro：工业级便携式检漏仪（IP54防护等级），带数据记录功能
6.Varian979-0025：高真空氦质谱检漏系统（极限真空510⁻⁷mbar）
7.ShimadzuMS-QC1000：定量校准装置（精度3%），支持多通道并行测试
8.CanonANELVAM-3400GS：半导体专用检漏工作站（兼容300mm晶圆腔体）
9.KurtJ.LeskerLACO-MATEPro：移动式氦回收系统（回收率≥95%）
10.VacuumTechnologyIncModelH2000：高压氦喷枪（工作压力0-40MPa）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。