检测项目

基础物性检测：

  • 纯度指数：总杂质含量≤0.1ppm（ISO20456）
  • 密度与相对分子质量：偏差值±0.1%（ASTMD1070）
无机杂质检测：
  • 氧含量：≤0.001ppm（SEMIC3.8）
  • 氮氧化物：NOx≤5ppb（EPACTM-022）
  • 氢含量：H₂≤0.5ppm（GB/T3634.2）
有机杂质检测：
  • 总烃含量：THC≤0.1ppm（ISO6570）
  • 挥发性有机物：苯系物≤1ppb（EPATO-15）
水分检测：
  • 露点温度：≤-76℃（ISO8573-1）
  • 水分子浓度：H₂O≤0.1ppm（ASTMEJianCe）
颗粒物检测：
  • 粒径分布：≥0.1μm颗粒≤1个/m³（ISO14644-1）
  • 悬浮粒子浓度：Class0级（ISO8573-4）
腐蚀性组分：
  • 硫化物：H₂S≤0.01ppm（ASTMD5504）
  • 卤素化合物：F⁻≤0.05ppb（SEMIC3.25）
金属离子检测：
  • 碱金属：Na⁺/K⁺≤0.01ppb（ICP-MS法）
  • 重金属：Fe/Ni/Cr≤0.05ppb（USP<232>）
同位素丰度：
  • 氘代率：D/H≥99.8%（ISO14187）
  • 碳-13比例：δ¹³C≥-30‰（IRMS法）
特殊组分分析：
  • 一氧化碳：CO≤0.1ppm（EN14625）
  • 二氧化碳：CO₂≤0.5ppm（ISO6974）
生物污染物：
  • 需氧菌总数：≤1CFU/m³（ISO14698）
  • 内毒素含量：≤0.03EU/ml（USP<85>）

检测范围

1.电子特气：涵盖砷烷、磷烷等高毒性气体，重点监控金属离子及颗粒物对晶圆污染风险

2.高纯惰性气体：氦/氩/氖等气体，核心检测氧含量（≤2ppb）与总烃残留

3.医用氧气：依据药典标准验证CO₂（≤300ppm）及CO（≤5ppm）限量

4.焊接保护气：氩-二氧化碳混合气，需测定CO₂比例偏差（±0.3%）及水分活度

5.校准用标准气：验证组分浓度不确定度≤0.5%（ISO6142）

6.激光切割气：氮气/氧气混合气，关键控制颗粒物粒径分布（0.3-5μm）

7.制冷剂气体：R32/R134a等，重点检测酸度（≤1ppm）及不凝性气体含量

8.超高纯硅烷：半导体沉积用气，硼磷杂质需≤0.01ppb（SEMIC3.30）

9.食品级二氧化碳：苯系物≤0.02mg/kg（GB1886.213）及硫化物检测

10.同位素标记气：¹³CH₄/¹⁵N₂等，丰度验证精度需达±0.1atom%

检测方法

国际标准：

  • ISO8573-1压缩空气污染物等级评定
  • ASTMD7941傅里叶红外光谱法测CO₂
  • SEMIC3.5气相色谱法测电子气杂质
  • EPATO-14A罐采样-GCMS测VOCs
  • ISO14644-1洁净室粒子计数法
国家标准：
  • GB/T3634.2氢气纯度分析（与ISO差异：增加钯扩散法）
  • GB/T5832.1电解法测水分（与ASTM对比：精度低0.5℃）
  • GB/T8984气体中一氧化碳检测（比色法/红外法并行）
  • GB11640铝合金气瓶检验（含气体相容性测试）
  • GB/T5274气体分析校准用混合气（与ISO6142等效）
（方法差异说明：ISO8573-1露点测试采用镜面冷凝法，GB/T5832.1允许使用电解法，精度差异±2℃；ASTMD7941要求FTIR分辨率0.5cm⁻¹，国标未明确光谱分辨率要求）

检测设备

1.气相色谱仪：Agilent8890GC（TCD检测限1ppm，FID检测限0.1ppm）

2.傅里叶红外光谱仪：ThermoIS50（光谱范围7800-350cm⁻¹，分辨率0.09cm⁻¹）

3.激光露点仪：MichellS8000（量程-100~20℃，精度±0.2℃）

4.高精度质谱仪：ExtrelMAX300-RGA（质量数1-300amu，检测限0.1ppb）

5.粒子计数器：LighthouseSolair3100（0.1~5μm六通道，流量28.3L/min）

6.脉冲放电检测器：VICIPDHID（对无机气体检测限0.1ppb）

7.等离子体质谱仪：PerkinElmerNexION5000（金属元素检测限0.01ppt）

8.痕量水分析仪：GEM50（量程-110~-20℃，响应时间<3s）

9.总烃分析仪：SiemensUltramat23（量程0-10ppm，精度±1%FS）

10.同位素比质谱仪：ThermoDeltaVAdvantage（δ值精度±0.1‰）

11.紫外荧光分析仪：TeledyneT100（SO₂检测限0.05ppb）

12.化学发光检测器：EcoPhysicsCLD88（NOx检测限0.4ppb）

13.电解法水分仪：ShawS8000（量程0-1000ppm，分辨率0.1ppm）

14.声速分析仪：ZetekSVM3000（气体组分识别精度99.7%）

15.自动进样系统：CTCPAL3（支持192位样品瓶，精度±0.1mm）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室拥有CMA/CNAS/ISO资质。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。