二维氮化硼薄膜检测

点击：94丨发布时间：2025-06-09 11:13:07丨关键词：CMA/CNAS资质，中析研究所，二维氮化硼薄膜检测

上一篇：点火电压检测丨下一篇：二硝基苯亚胺基检测

参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。

因业务调整，暂不接受个人委托测试，望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师。

检测项目

物理特性检测：

• 厚度测量：平均厚度（0.3-5nm）、均匀性偏差（RSD≤3%，参照ISO21363）
• 表面形貌：粗糙度（Ra≤0.5nm）、层间堆叠缺陷密度

• 晶格参数：晶面间距（d=0.333nm±0.005nm）、晶向偏差（θ≤2°）
• 缺陷分析：空位浓度（≤5×10^{-4}）、晶界密度（GB/μm²）

• 弹性模量：杨氏模量（≥800GPa）、泊松比（0.2±0.05）
• 拉伸强度：断裂强度（≥70GPa）、应变率（10^{-3}s^{-1}）

• 导热系数：面内热导率（>300W/mK）、热膨胀系数（CTE≤2×10^{-6}K^{-1}）
• 热稳定性：分解温度（≥900℃，参照ASTME1131）

• 绝缘性能：击穿场强（≥10MV/cm）、电阻率（>10^{14}Ω·cm）
• 介电常数：频域介电值（ε_r=3-5@1kHz）

• 透光率：可见光波段（≥95%@550nm）、紫外吸收峰（~210nm）
• 荧光特性：量子产率（QY≥0.8）、发射波长

• 耐腐蚀性：酸碱环境失重率（≤0.1mg/cm²，参照ISO9227）
• 抗氧化性：高温氧化增重（≤1%@800℃）

• 元素组成：B/N原子比（1:1±0.03）、杂质含量（O≤0.5at%）
• 官能团分析：羟基覆盖率、（-OH≤2%）

• 结合强度：膜基附着力（≥50MPa）、剪切模量
• 浸润性：接触角（>90°）

• 屏蔽效能：电磁屏蔽（SE>30dB@1GHz）、气体阻隔性（OTR≤0.01cc/m²/day）
• 摩擦系数：动态摩擦力（μ≤0.05）

检测范围

1.单层氮化硼薄膜：原子层级平整度检测，侧重晶格缺陷及电绝缘性能

2.多层堆叠薄膜：层间界面结合强度分析，重点控制厚度均匀性及热导率

3.硅基集成薄膜：用于半导体封装，检测界面应力分布及介电常数稳定性

4.金属基底涂层：铜/铝基导热界面，关注膜基附着力及高温氧化性能

5.柔性衬底薄膜：聚酰亚胺支撑结构，弯折疲劳寿命及表面粗糙度控制

6.复合异质结构：石墨烯/氮化硼双层，检测层间电荷转移及热管理效能

7.功能化改性薄膜：羟基/氟化表面处理，验证化学稳定性及浸润性变化

8.电子封装薄膜：高频电路隔离层，重点检测击穿场强及介电损耗

9.光学窗口涂层：紫外防护应用，透光率均匀性及荧光量子产率测试

10.纳米传感器薄膜：气体敏感层，表面官能团密度及响应灵敏度评估

检测方法

国际标准：

• ISO13067:2016原子力显微镜表面粗糙度测量
• ASTMF1526-18薄膜热导率激光闪光法
• ISO14703:2019透射电镜晶格缺陷表征
• ASTMD257-14绝缘材料电阻率测试

• GB/T34336-2017二维材料厚度椭偏仪检测
• GB/T39859-2021氮化物薄膜化学成分光谱分析
• GB/T10247-2019薄膜导热性能测试
• GB/T16522-2018介电强度击穿试验

检测设备

1.原子力显微镜：BrukerDimensionIcon型（分辨率0.1nm，扫描范围100μm）

2.椭偏仪：J.A.WoollamM-2000VI型（波长范围245-1700nm，膜厚精度±0.1nm）

3.拉曼光谱仪：RenishawinViaQontor型（激光波长532nm，光谱分辨率1cm^{-1}）

4.透射电子显微镜：FEITecnaiF20型（点分辨率0.24nm，加速电压200kV）

5.X射线光电子能谱仪：ThermoScientificK-Alpha型（能量分辨率0.5eV，检出限0.1at%）

6.激光闪光导热仪：NetzschLFA467HyperFlash型（温度范围-100~500℃，精度±3%）

7.半导体参数分析仪：KeysightB1500A型（电流分辨率1fA，电压范围±100V）

8.纳米压痕仪：AgilentG200型（载荷范围0.1-500mN，位移分辨率0.01nm）

9.紫外可见分光光度计：ShimadzuUV-3600型（波长范围185-3300nm，带宽0.1nm）

10.四探针电阻仪：Keithley2450型（电阻测量范围10μΩ-200MΩ，精度±0.1%）

11.接触角测量仪：DataphysicsOCA20型（角度分辨率0.1°，温度控制-10~150℃）

12.高真空镀膜系统：KurtJ.LeskerPVD75型（真空度<10^{-7}Torr，膜厚监控精度±2%）

13.恒温恒湿箱：EspecSH-261型（温度范围-70~150℃，湿度10-98%RH）

14.电磁屏蔽室：ETS-LindgrenModel26型（屏蔽效能>100dB，频率范围10kHz-40GHz）

15.摩擦磨损试验机：CSMInstrumentsTribometer型（载荷0.01-10N，速度0.1-100mm/s）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。