负电性杂质检测

点击：92丨发布时间：2025-05-26 11:54:51丨关键词：CMA/CNAS/ISO资质，中析研究所，负电性杂质检测

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参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。

因业务调整，暂不接受个人委托测试，望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师。

检测项目

1.表面电荷密度：测量范围110^10~110^14cm^-2，精度5%
2.体相载流子浓度：检测限110^12~110^18cm^-3
3.迁移率变化率：分辨率0.1cm/(Vs)
4.陷阱能级分布：能量分辨率0.01eV
5.界面态密度：测试频率1kHz~1MHz

检测范围

1.半导体材料：硅晶圆、GaN外延片、碳化硅衬底
2.电子元件：MOSFET栅极介质层、IGBT模块
3.光伏材料：PERC电池钝化层、钙钛矿薄膜
4.电池材料：锂离子电池隔膜涂层
5.纳米材料：石墨烯导电膜、量子点发光层

检测方法

1.ASTMF1525-2017：表面光电压法测定半导体表面电荷密度
2.ISO16243:2018：深能级瞬态谱(DLTS)分析体相缺陷
3.GB/T34544-2017：场效应晶体管迁移率测试规程
4.GB/T32468-2016：锂离子电池材料电化学阻抗谱法
5.JISH0605:2020：四探针法测量薄层电阻

检测设备

1.KeysightB1505A功率器件分析仪：支持1000V/100A高压高流测试
2.LakeShore8400系列霍尔效应测试系统：磁场强度2T，温度范围10-400K
3.AgilentE4990A阻抗分析仪：频率范围20Hz至120MHz
4.KPTechnologyKP-6500Kelvin探针力显微镜：空间分辨率50nm
5.SemilabPV-2000光电导衰退测试仪：载流子寿命测量范围1ns-10ms
6.OxfordInstrumentsVersaProbeIIIXPS：元素检出限0.1at%
7.BrukerDimensionIcon原子力显微镜：导电AFM模式电流灵敏度10pA
8.HORIBALabRAMHREvolution拉曼光谱仪：激光波长532/785nm可选
9.ThermoFisheriCAPRQICP-MS：元素定量下限0.1ppb
10.HitachiSU9000场发射电镜：二次电子分辨率0.4nm@15kV

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。