中性粒子检测

点击：96丨发布时间：2025-05-19 14:39:27丨关键词：CMA/CNAS/ISO资质，中析研究所，中性粒子检测

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参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。

因业务调整，暂不接受个人委托测试，望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师。

检测项目

1.能量分布检测：测量1eV-10keV范围内的粒子动能分布曲线
2.通量密度测定：量化110¹⁰-110¹⁵particles/(cms)区间的粒子流强度
3.束流均匀性分析：通过二维扫描获取5%以内的径向分布均匀度
4.粒子种类比例：采用四级杆质谱测定H₂/N₂/Ar等气体占比（精度0.1%）
5.表面吸附量测试：通过QCM测量单层吸附量（分辨率0.01ng/cm）

检测范围

1.半导体材料：硅晶圆、GaAs衬底等III-V族化合物
2.光学薄膜：MgF₂增透膜、SiO₂/TiO₂多层膜系
3.金属合金：钛合金生物植入件、不锈钢真空腔体
4.高分子材料：聚酰亚胺柔性电路基板、PTFE密封件
5.真空镀膜材料：Al₂O₃阻隔层、TiN硬质涂层

检测方法

1.ASTME3070-22：采用飞行时间质谱进行中性粒子能量分布测定
2.ISO14606:2020：规定溅射深度剖析的中性粒子束参数校准规范
3.GB/T28894-2021：表面化学分析用中性粒子源技术要求
4.GB/T19501-2013：基于能谱法的中性粒子诱导X射线发射分析方法
5.ASTMF2405-19：半导体工艺中中性粒子束参数测试标准

检测设备

1.HidenEQP500系列：配备三轴能量分析器的在线质谱仪（质量分辨率0.01amu）
2.ULVACPHIQuantes：配备Ar气团簇离子源的X射线光电子能谱仪
3.KratosAXISSupra：集成中性粒子束清洗功能的XPS表面分析系统
4.OxfordInstrumentsINCAx-actSDD：150mm有效面积的硅漂移探测器
5.ThermoScientificiCAPRQ：具有碰撞反应池技术的ICP-MS痕量元素分析仪
6.Agilent8900三重四极杆ICP-MS：同位素比值测定精度达0.01%
7.ShimadzuSALD-7500nano：激光衍射法粒径分析仪（测量范围3nm-3000μm）
8.PerkinElmerNexION5000：四极杆质量过滤器配合三锥接口设计
9.JEOLJIB-4700F：聚焦离子束系统配备气体注入装置（束斑直径3nm）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。