气相掺杂技术检测

点击：96丨发布时间：2025-05-16 10:45:17丨关键词：CMA/CNAS/ISO资质，中析研究所，气相掺杂技术检测

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参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。

因业务调整，暂不接受个人委托测试，望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师。

检测项目

1.掺杂元素浓度：测量范围1e15-1e21atoms/cm，精度3%
2.层内均匀性：面内相对标准偏差（RSD）≤5%
3.深度分布梯度：分辨率达0.5nm/层
4.化学结合态分析：结合能误差0.1eV
5.界面扩散系数：检出限1e-16cm/s
6.热稳定性测试：温度范围25-1200℃，升降温速率0.1-50℃/min

检测范围

1.硅基半导体器件（FinFET、DRAM等）
2.III-V族化合物外延片（GaN、GaAs等）<3.光伏用PERC/TOPCon电池片
4.二维过渡金属硫化物（MoS₂、WS₂等）
5.硬质涂层工具（TiN/AlTiN镀层）
6.锂电正极材料（NCM/LFP掺杂体）

检测方法

1.ASTME1620-16二次离子质谱深度剖析
2.ISO14707:2020辉光放电光谱定量分析
3.GB/T32281-2015扫描俄歇微探针测试规程
4.ISO20903:2019X射线光电子能谱表面分析
5.GB/T39145-2020四探针电阻率测量法
6.ASTMF1526-18动态二次离子质谱成像

检测设备

1.CAMECAIMS7f：磁式二次离子质谱仪，深度分辨率0.3nm
2.ThermoScientificK-Alpha+：单色化X射线光电子能谱仪
3.HORIBAGD-Profiler2：射频辉光放电发射光谱仪
4.Keysight5500AFM：原子力显微镜导电模式模块
5.BrukerD8ADVANCE：高分辨X射线衍射仪（HRXRD）
6.Agilent8500F：动态二次离子质谱成像系统
7.OxfordInstrumentsINCAx-act：电制冷能谱仪（EDS）
8.VeecoDimensionIcon：扫描探针显微镜（SPM）
9.RigakuZSXPrimusIV：波长色散X射线荧光光谱仪
10.ParkNX-Hivac：超高真空原子力显微镜

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。