芯片封装氮气分析

点击:5丨发布时间:2025-07-13 08:03:35丨关键词:CMA/CNAS资质,中析研究所,芯片封装氮气分析

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参考周期:常规试验7-15工作日,加急试验5个工作日。

因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。

CMA/CNAS等证书详情,因时间等不可抗拒因素会发生变更,请咨询在线工程师。

检测项目

纯度检测:

  • 氮气纯度:纯度等级≥99.999%(参照ISO6974)
  • 惰性气体残留:氩气浓度≤0.001%、氦气偏差±0.0005%
杂质分析:
  • 氧含量:氧浓度≤0.1ppm(参照ASTMD1137)
  • 烃类杂质:总烃≤0.5ppm、甲烷偏差±0.05ppm
水分检测:
  • 水分含量:水蒸气≤1ppm
  • 露点测试:露点温度≤-76°C
物理参数监测:
  • 流量稳定性:流量波动≤±0.5L/min
  • 压力控制:操作压力范围100-500kPa、压力偏差±1%
腐蚀性评估:
  • 酸性气体检测:二氧化碳浓度≤0.2ppm、硫化氢≤0.01ppm
  • 金属离子残留:铜离子≤0.001ppm、铁离子≤0.0005ppm
稳定性测试:
  • 长期纯度维持:24小时纯度衰减≤0.0001%
  • 温度影响:温度范围-40°C至+80°C纯度变化≤0.0005%
微生物检测:
  • 细菌含量:总菌落数≤10CFU/m³
  • 真菌孢子:孢子浓度≤5个/m³
气体组成分析:
  • 氮气组分偏差:氮气摩尔分数偏差±0.0001%
  • 稀有气体比例:氪气浓度≤0.0001ppm、氙气≤0.00005ppm
封装环境验证:
  • 氧化风险指标:氧渗透率≤0.01mL/min·m²
  • 污染物扩散:颗粒物尺寸≤0.1μm、浓度≤100个/m³
安全参数检测:
  • 可燃性测试:可燃气体浓度≤0.01%LEL
  • 毒性评估:一氧化碳≤0.5ppm、氨气≤0.1ppm

检测范围

1.封装基板材料:包括FR-4和BT树脂基板,检测重点为氮气对铜焊盘腐蚀抑制和热膨胀系数影响

2.硅片封装体:覆盖Flip-Chip和BGA封装,侧重氮气纯度和水分对芯片互连可靠性的影响

3.焊料合金:SAC305和SnPb焊料,检测重点为氮气环境下焊点氧化程度和润湿性变化

4.封装胶粘剂:环氧树脂和聚酰亚胺胶,聚焦氮气杂质对胶粘剂固化速度和粘结强度的影响

5.引线框架材料:铜合金和Alloy42框架,检测重点为氮气氧含量对框架表面氧化层的控制

6.密封盖材料:陶瓷和金属密封盖,侧重氮气泄漏率和压力稳定性对密封完整性的影响

7.气体供应系统:液氮储罐和管道系统,检测重点为氮气源纯度衰减和输送过程杂质引入

8.封装设备腔体:回流焊炉和键合机腔体,聚焦氮气环境参数对设备运行稳定性的影响

9.芯片钝化层:SiN和SiO2钝化层,检测重点为氮气烃类杂质对层间介电常数的影响

10.封装终端产品:存储器芯片和逻辑器件,侧重氮气分析对最终产品可靠性和寿命的验证

检测方法

国际标准:

  • ISO6974:2021天然气分析—气相色谱法测定组分
  • ASTMD1137-22气体水分测定标准方法
  • ASTMD1945-14气相色谱法气体分析
  • ISO6143:2020气体分析—校准气体混合物制备
国家标准:
  • GB/T38698-2020工业气体分析通则
  • GB/T14850-2022电子工业用高纯气体技术条件
  • GB/T601-2021化学试剂标准滴定溶液制备
  • GB/T33067-2022气体纯度测定方法
方法差异说明:ISO标准采用更高分辨率色谱柱,检测限达0.0001ppm;ASTM方法侧重快速响应,流速设定为1-5mL/min;GB标准规定更严格的湿度控制,要求相对湿度≤30%,而国际标准允许≤50%。

检测设备

1.气相色谱仪:GC-2030型(分辨率0.01ppm,检测限0.0001ppm)

2.露点分析仪:DP-8800型(测量范围-100°Cto+20°C,精度±0.1°C)

3.红外气体分析仪:IRGAS-500型(波长范围2-15μm,检出限0.05ppm)

4.质谱仪:MS-3000型(质量范围1-500Da,灵敏度0.001ppm)

5.电化学传感器:ECS-200型(响应时间<10s,量程0-100ppm)

6.流量计:FM-100型(精度±0.2%,范围0.01-100L/min)

7.压力传感器:PS-500型(压力范围0-1000kPa,误差±0.1%)

8.水分分析仪:H2O-800型(检测限0.1ppm,操作温度-40°Cto+60°C)

9.颗粒计数器:PC-600型(粒径分辨率0.1μm,计数范围0-10000个/m³)

10.气体校准系统:GCS-400型(混合精度±0.01%,流量控制0.1-10L/min)

11.温度湿度箱:THB-250型(温度范围-70°Cto+150°C,湿度范围10-95%RH)

12.泄漏检测仪:LD-300型(灵敏度1×10⁻⁸mbar·L/s,测试压力50-500kPa)

13.紫外光谱仪:UVS-700型(波长范围190-400nm,检出限0.02ppm)

14.微生物采样器:MB-100型(采样率1-100L/min,培养温度25-37°C)

15.稳定性测试台:ST-900型(长期运行≥720h,参数漂移≤0.01%)

北京中科光析科学技术研究所【简称:中析研究所】

📝 报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

⏳ 检测周期:7~15工作日,可加急。

🏅 资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

📏 标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

🔬 非标测试:支持定制化试验方案。

📞 售后:报告终身可查,工程师1v1服务。