电子束蒸发器检测

点击：913丨发布时间：2025-03-21 11:39:05丨关键词：CMA/CNAS/ISO资质，中析研究所，电子束蒸发器检测

参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。

因业务调整，暂不接受个人委托测试，望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师。

检测项目

电子束流稳定性：±1%偏差范围（10-500mA量程）

真空系统极限压力：≤5×10^-6 Torr

沉积速率均匀性：±3%（200-1000Å/min区间）

基片温度控制精度：±2℃（室温-800℃范围）

膜厚分布均匀性：±1.5%（Φ200mm基片）

残余气体分析：H₂O≤5×10^-7 Torr, O₂≤1×10^-7 Torr

金属薄膜材料：Al, Au, Ti, Cr及其合金镀层

半导体材料：Si, Ge, GaAs外延层

氧化物薄膜：SiO₂, TiO₂, Al₂O₃

光学涂层：ZnS/MgF₂多层增透膜系

高分子材料：PMMA光刻胶保护层

ASTM F2401-20: 电子束蒸发沉积速率测试规范

ISO 14237:2018 表面化学分析-电子束蒸发系统性能表征

GB/T 13301-2019 金属覆盖层厚度测量β射线反散射法

SJ/T 11873-2022 电子束蒸发设备通用技术条件

IEC 60749-27:2020 半导体器件热特性测试方法

GB/T 34879-2017 真空技术术语及定义

Thermionics VE-100电子束源：最大功率10kW，扫描频率0.1-100Hz可调

Leybold NAVIGATOR真空计组：覆盖1×10^-9-1000Torr全量程测量

Inficon XTM/2石英晶体膜厚仪：分辨率0.1Å，6探头同步监控

Agilent 7890B残余气体分析仪：质量数范围1-300amu，检出限5×10^-12 Torr

KLA Tencor P-17表面轮廓仪：垂直分辨率0.1nm，扫描长度200mm

Fluke Ti400红外热像仪：温度分辨率0.03℃，空间分辨率1.1mrad

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

其他检测