半导体超纯水监测
点击：90丨发布时间：2025-12-03 10:52:17丨关键词：CMA/CNAS/ISO资质，中析研究所，半导体超纯水监测
参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。
因业务调整，暂不接受个人委托测试，望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。
CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师。
检测项目
1.电阻率测试：测量范围0.1-20兆欧·厘米、温度补偿0-50摄氏度、电极常数校准精度±0.1%
2.总有机碳分析：检测限0.1-1000微克每升、氧化效率大于98%、响应时间小于3分钟
3.微粒计数：尺寸范围0.1-10微米、计数效率±5%、流速控制100-500毫升每分钟
4.细菌监测：菌落总数0-1000菌落形成单位每毫升、培养时间24-72小时、培养基选择性控制
5.离子色谱分析：阴离子检测限0.1微克每升、阳离子检测限0.1微克每升、色谱柱稳定性±1%
6.溶解气体测定：氧气含量0-20微克每升、二氧化碳含量0-100微克每升、脱气效率大于95%
7.二氧化硅检测：反应性二氧化硅0-50微克每升、非反应性二氧化硅、比色法精度±2%
8.pH值测量：电极稳定性±0.01 pH、温度影响校正范围0-50摄氏度、缓冲液校准频率每日一次
9.氧化还原电位：测量范围-1000至+1000毫伏、参比电极类型银/氯化银、响应时间小于30秒
10.表面张力：液滴法测量范围0-100毫牛每米、温度控制10-40摄氏度、液滴体积精度±0.1微升
11.紫外线透光率：波长254纳米、透光率范围0-100%、光路长度10-100毫米
12.电导率梯度：测量精度±0.1%、自动校准周期每24小时
13.总溶解固体：检测限0.1-1000微克每升、蒸发残留物重量测量、恒温控制±0.5摄氏度
14.有机物残留：挥发性有机物0-100微克每升、半挥发性有机物0-50微克每升、萃取效率大于90%
15.重金属离子分析：检测限0.01-10微克每升、原子吸收光谱法、背景校正精度±0.5%
16.微生物内毒素：检测范围0-100内毒素单位每毫升、凝胶法灵敏度0.03内毒素单位每毫升、孵育时间60分钟
17.氨氮含量：检测限0.1-50微克每升、显色反应时间10-30分钟、比色计分辨率±0.01吸光度
18.总碱度：滴定法精度±0.1毫克每升、指示剂变色点控制、滴定速度1-5毫升每分钟
19.悬浮物浓度：过滤法重量测量0-100毫克每升、滤膜孔径0.45微米、恒重精度±0.1毫克
20.放射性核素：检测限0.001-1贝克勒尔每升、闪烁计数法、本底噪声控制
检测范围
1.晶圆清洗用水：电阻率大于18兆欧·厘米、总有机碳小于1微克每升、微粒数量小于1个每毫升
2.化学品稀释液：离子浓度小于0.1微克每升、细菌浓度小于0.1菌落形成单位每毫升
3.光刻工艺用水：二氧化硅含量小于1微克每升、溶解气体小于5微克每升
4.蚀刻液配制用水：重金属离子小于0.01微克每升、总溶解固体小于10微克每升
5.清洗剂再生用水：pH值6.5-7.5、氧化还原电位-200至+200毫伏
6.冷却系统用水：总有机碳小于5微克每升、细菌监测频率每小时一次
7.超纯水储存系统：表面张力大于72毫牛每米、紫外线透光率大于90%
8.废水回用处理：悬浮物浓度小于1毫克每升、氨氮含量小于0.5微克每升
9.实验室分析用水：电导率梯度小于0.1%、内毒素小于0.03内毒素单位每毫升
10.高纯化学品生产用水：放射性核素小于0.001贝克勒尔每升、有机物残留小于1微克每升
11.半导体封装用水：微粒尺寸控制0.1-0.5微米、离子色谱分析频率每日一次
12.设备冲洗用水：总碱度小于1毫克每升、溶解氧小于10微克每升
13.洁净室环境用水：微生物内毒素小于0.01内毒素单位每毫升、重金属离子检测限0.001微克每升
14.工艺冷却水：pH值稳定性±0.1、氧化还原电位监测实时
15.超纯水分配系统：细菌总数小于0.1菌落形成单位每毫升、总有机碳实时监测
16.再生水应用：表面张力控制70-80毫牛每米、总溶解固体小于50微克每升
17.高精度制造用水：电阻率校准每日一次、总有机碳氧化效率验证每周一次
18.电子级水标准验证：离子浓度梯度测试、微粒计数统计
19.超滤系统出水：悬浮物浓度小于0.1毫克每升、细菌监测自动化
20.反渗透产水：电导率小于1微西门子每厘米、二氧化硅含量定期检查
检测方法
ASTM D5127-13、ISO 3696、SEMI F63、GB/T JianCe46.1、ASTM D5997-18、ISO 17294-2、GB/T 5750-2023、ASTM D4195-08、ISO 11885、GB/T 15454-2009、ASTM D5463-13、ISO 16264、GB/T 5750-2023、ASTM D5128-14、ISO 17294-2、GB/T 5750-2023、ASTM D5173-15、ISO 11885、GB/T 15454-2009、ASTM D5127-13、ISO 3696、SEMI F63、GB/T JianCe46.1
检测设备
1.在线电阻率监测仪：四电极系统、自动温度补偿、数据记录功能
2.总有机碳分析仪：紫外线氧化技术、非分散红外检测器、触摸屏控制界面
3.激光微粒计数器：光学传感器精度±0.1微米、流速控制100-500毫升每分钟、自动清洗周期
4.微生物检测系统：膜过滤法、恒温培养箱、菌落计数软件
5.离子色谱仪：电导检测器、自动进样系统、色谱柱恒温控制
6.气体分析仪：电化学传感器、采样流量0.1-1升每分钟、校准气体接口
7.实验室pH计：复合电极、温度自动补偿、多点校准功能
8.氧化还原电位计：参比电极稳定性±1毫伏、响应时间小于10秒
9.表面张力仪：悬滴法测量、高分辨率相机、温度控制单元
10.紫外线吸收光谱仪：双光束系统、波长范围200-400纳米、自动基线校正
11.电导率仪：双电极设计、范围0.1-1000微西门子每厘米、数据输出接口
12.原子吸收光谱仪：石墨炉原子化器、背景校正系统、自动稀释功能
13.内毒素检测仪：动态浊度法、孵育块温度控制、软件分析模块
14.滴定分析系统：自动 burette、pH电极集成、终点检测算法
15.过滤装置：真空泵系统、滤膜支架、恒重分析天平
16.放射性检测仪：液体闪烁计数器、本底屏蔽、多通道分析
17.总有机碳在线监测器：催化氧化技术、非分散红外检测、自清洗功能
18.微粒监测传感器：光散射原理、实时数据传送、警报阈值设置
19.细菌培养箱：温度控制范围20-40摄氏度、湿度调节、无菌空气循环
20.多参数水质分析仪：集成传感器模块、数据记录存储、远程通信接口
北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】
报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期：7~15工作日，可加急。
资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试：支持定制化试验方案。
售后：报告终身可查，工程师1v1服务。
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