真空泵的真空度检测
点击：928丨发布时间：2025-06-06 20:16:44丨关键词：CMA/CNAS/ISO资质，中析研究所，真空泵的真空度检测
参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。
因业务调整，暂不接受个人委托测试，望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。
CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师。
检测项目
基础真空性能：
- 极限真空度：测量范围0.1Pa-10^{-6}Pa（参照ISO21360）
- 抽气速率：额定值±5%（单位L/s）
- 达到时间：从大气压到指定真空度所需时间≤30s
- 泄漏率：≤10^{-9}mbar·L/s（氦气检测法）
- 密封完整性：压力衰减测试（参照GB/T19956）
- 氦气灵敏度：可检测最小泄漏量0.01sccm
- 抽气效率：在不同压力段效率≥90%
- 流量稳定性：波动范围±2%（单位L/min）
- 残余气体分析：主要成分浓度≤1%
- 温升测试：泵体温度≤80°C（持续运行2h）
- 低温性能：真空度维持能力在-20°C下测试
- 热稳定性：温度变化±5°C时真空度偏差≤5%
- 振动幅度：≤0.5mm/s（频率范围10Hz-1kHz）
- 噪声水平：≤65dB(A)（距离1m处测量）
- 机械稳定性：长期运行无异常振动（参照ISO10816）
- 功耗：额定功率±10%（单位kW）
- 绝缘电阻：≥100MΩ（测试电压500V）
- 启动电流：峰值电流≤额定值150%
- 腐蚀耐受性：在酸性气体环境下无劣化（测试时间24h）
- 密封材料兼容性：与油或气体无反应（参照ASTMD471）
- 表面处理：涂层附着力≥5MPa（划格法测试）
- 连续运行寿命：≥5000h无故障（加速老化测试）
- 启停循环：1000次循环后性能衰减≤5%
- 磨损评估：关键部件尺寸变化≤0.01mm
- 湿度影响：在相对湿度85%下真空度偏差≤3%
- 气压变化：从海平面到高海拔真空度稳定性测试
- 粉尘防护：IP54等级验证（参照IEC60529）
- 过压保护：安全阀开启压力≤1.5倍额定值
- 接地连续性：电阻≤0.1Ω
- 紧急停机响应时间≤0.5s
检测范围
1.旋片真空泵：检测重点为油密封系统性能和极限真空度稳定性，在连续运行中评估泄漏控制。
2.罗茨真空泵：评估高压差条件下的抽气效率和温升管理，侧重高速旋转部件的振动分析。
3.扩散真空泵：检测重点为油蒸汽返流率和高温环境下的真空维持能力，确保低泄漏率。
4.分子真空泵：评估超高真空段的抽气速率和残余气体影响，侧重磁悬浮轴承的耐久性。
5.干式真空泵：检测重点为无油运行下的密封完整性和粉尘耐受性，在腐蚀性气体中测试材料兼容性。
6.液环真空泵：评估液体密封系统的泄漏率和温度稳定性，侧重水环效率及腐蚀防护。
7.真空系统组件：检测重点为阀门和管道的密封性能及流量控制，在系统集成中验证泄漏率。
8.真空腔体：评估焊接接缝的泄漏特性和内表面光洁度，侧重真空度维持能力测试。
9.真空测量仪器：检测重点为传感器的精度校准和环境影响补偿，在极端条件下验证可靠性。
10.真空泵维护部件：评估密封圈和轴承的磨损特性及更换周期，侧重耐久性测试。
检测方法
国际标准：
- ISO21360:2019真空泵性能测试方法
- ISO3567:2011真空技术泄漏检测方法
- ISO10816:2014机械振动评估方法
- ISO3744:2010声学噪声测量方法
- ISO8573-1:2010压缩空气污染物测试
- GB/T19956-2005真空技术术语与测试基础
- GB/T3853-2017容积真空泵性能测试方法
- GB/T2423-2008电工电子产品环境试验
- GB/T4208-2017外壳防护等级测试方法
- GB/T16825-2018金属材料力学性能测试
检测设备
1.电容薄膜真空计：MKS390型（量程0.1Pa-100kPa，精度±0.5%）
2.热阴极电离真空计：INFICONBPG400型（量程10^{-5}Pa-10^{-2}Pa，分辨率0.1%）
3.氦质谱检漏仪：LeyboldPhoenixL300i型（灵敏度10^{-9}mbar·L/s，响应时间<1s）
4.质量流量控制器：BrooksSLA5850型（流量范围0-100L/min，精度±1%）
5.真空校准系统：VarianVacCal1000型（校准范围10^{-3}Pa-10^{3}Pa，不确定度±0.2%）
6.数据采集系统：NIcDAQ-9188型（采样率100kHz，通道数8）
7.温度控制器：WatlowF4T型（控温范围-40°C-150°C，精度±0.1°C）
8.振动分析仪：Bruel&Kjaer3050型（频率范围0.5Hz-20kHz，分辨率0.01mm/s）
9.噪声计：RIONNL-52型（测量范围30dB-130dB，精度±0.5dB）
10.电气测试仪：Fluke435型（功率范围0-10kW，绝缘测试电压1000V）
11.环境试验箱：WeissTechnikWK3-180型（温湿度范围-70°C-180°C，湿度10%-98%）
12.耐久性测试台：Instron8874型（载荷范围0-250kN，循环次数100万次）
13.气体分析仪：Agilent490型（检测限0.1ppm，气体种类10+）
14.压力传感器：DruckDPI620型（量程0-10bar，精度±0.05%）
15.真空泵性能测试系统：EdwardsSTP-X300型（集成抽速和泄漏测试，自动化控制
北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】
报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期：7~15工作日，可加急。
资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试：支持定制化试验方案。
售后：报告终身可查，工程师1v1服务。
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