相位干涉检测

点击：94丨发布时间：2025-05-28 08:42:38丨关键词：CMA/CNAS/ISO资质，中析研究所，相位干涉检测

参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。

因业务调整，暂不接受个人委托测试，望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师。

检测项目

1.面形精度：RMS≤λ/20（λ=632.8nm），PV值≤λ/4
2.表面粗糙度：Ra≤1nm（扫描区域55mm）
3.厚度均匀性：公差0.25μm（测量直径Φ150mm）
4.折射率分布：梯度变化≤510⁻⁴/cm
5.波前畸变：Zernike系数分析（36项多项式拟合）

检测范围

1.光学玻璃：透镜、棱镜等成像元件基材
2.半导体晶圆：12英寸硅片翘曲度检测
3.薄膜材料：ITO导电膜（厚度50-300nm）
4.金属表面：精密轴承滚道微观形貌
5.复合材料：碳纤维增强树脂基板分层缺陷

检测方法

ASTME284-17表面粗糙度白光干涉测量法
ISO10110-5:2015光学元件面形公差规范
GB/T1800.3-2020几何量测量干涉法通则
GB/T13323-2009激光平面干涉仪检定规程
ISO14999-4:2015光学元件波前误差测试

检测设备

1.ZygoVerifire™HDX：4D动态干涉仪（波长632.8nm，重复精度0.1nm）
2.VeecoNT9800：白光干涉三维轮廓仪（垂直分辨率0.01nm）
3.TaylorHobsonCCIHD：非接触式表面轮廓仪（最大扫描面积200200mm）
4.TriopticsPhase6D：六自由度移相干涉系统（PV测量精度λ/100）
5.BrukerContourGT-X3：显微干涉成像系统（50物镜NA=0.55）
6.Keysight5500ILM：激光干涉定位模块（线性分辨率0.3nm）
7.FisbaμPhaseRSPro：旋转对称元件专用干涉仪（Φ300mm口径）
8.NikonLC100Dx：激光共聚焦干涉显微镜（Z轴重复性1nm）
9.OlympusOLS5000：激光扫描干涉系统（最大坡度角85）
10.MitutoyoMF-U1000H：超精密平面度干涉仪（平面度λ/20@Φ100mm）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

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