椭圆偏振光检测
点击：92丨发布时间：2025-05-27 15:46:37丨关键词：CMA/CNAS/ISO资质，中析研究所，椭圆偏振光检测
参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。
因业务调整，暂不接受个人委托测试，望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。
CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师。
检测项目
1.椭圆偏振角（Ψ）测量：精度0.01，测量范围0-90
2.相位差（Δ）测定：分辨率0.1，重复性0.3
3.薄膜厚度分析：量程1nm-10μm，误差≤0.5%
4.复折射率测定：n值范围1.3-5.0，k值范围0-3
5.表面粗糙度评估：Ra≤10nm时测量灵敏度达0.2nm
检测范围
1.光学镀膜：AR/IR截止膜、高反膜、分光膜
2.液晶显示材料：ITO导电膜、配向层聚合物
3.半导体晶圆：Si/SiO₂/SiN叠层结构、High-k介质
4.生物传感器：金/银纳米颗粒修饰表面
5.光伏材料：钙钛矿薄膜、CIGS吸收层
检测方法
ASTME902-20《椭圆偏振仪校准标准》
ISO14782:2017《透明材料雾度椭偏测量法》
GB/T26313-2010《薄膜厚度椭偏测量方法》
ISO21475:2019《聚合物薄膜光学特性测定》
GB/T38823-2020《硅基介质膜椭偏测试规范》
检测设备
1.J.A.WoollamM-2000UI：宽光谱（190-1700nm）变角椭偏仪
2.HoribaUVISEL2：深紫外至近红外（140-2500nm）相位调制型
3.SentechSE850adv：高精度显微椭偏系统（5μm光斑）
4.AccurionEP4：实时原位监测型（真空兼容）
5.SemilabGES5E：半导体专用自动Mapping椭偏仪
6.FilmSenseFS-1X：便携式单波长（632.8nm）快速测量仪
7.AngstromSunTechnologiesAlpha-SE：光伏材料专用系统
8.NanofilmEP3-SW：超宽入射角（15-90）研究级设备
9.OptrelMultiskop：多通道同步PSD探测器系统
10.Elli-ScopeES-1G：石墨烯/二维材料专用椭偏模块
北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】
报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期：7~15工作日，可加急。
资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试：支持定制化试验方案。
售后：报告终身可查，工程师1v1服务。
前沿项目