预抽真空室检测

点击：91丨发布时间：2025-05-26 12:24:04丨关键词：CMA/CNAS/ISO资质，中析研究所，预抽真空室检测

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参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。

因业务调整，暂不接受个人委托测试，望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师。

检测项目

1.极限真空度：测量腔体在24小时内的最低压力值（10^-3~10^-6Pa）
2.泄漏率测试：氦质谱法测定系统总漏率（≤110^-9Pam/s）
3.抽气速率曲线：记录0~10^-3Pa压力区间的泵组效率
4.温度均匀性：工作温度范围内（-70~300℃）各区域温差≤2℃
5.残余气体分析：RGA谱仪监测H₂O、N₂、O₂分压比（总占比＜5%）

检测范围

1.半导体晶圆制造设备腔体
2.光学镀膜机真空室
3.航天器热真空试验舱
4.医用灭菌柜密封系统
5.高能物理粒子加速器束流管

检测方法

1.ASTME595-22：材料放气特性测试
2.ISO21360:2019：真空泵性能测量规范
3.GB/T3163-2022：真空技术术语与定义
4.ASTME493-06(2021)：氦质谱检漏标准方法
5.GB/T32218-2015：真空室压力维持测试规程

检测设备

1.Agilent5977BRGA：残余气体分析（质量数1-300amu）
2.INFICONUL1000Fab：氦质谱检漏仪（灵敏度510^-13Pam/s）
3.LeyboldCTR91：复合真空计（量程10^-5~10³Pa）
4.Fluke2680A：多点温度记录仪（16通道0.1℃精度）
5.EdwardsSTP-A4503：涡轮分子泵组（抽速450L/s）
6.MKS925B：电容薄膜规（全量程0.1%~100%线性度）
7.PfeifferHLT260：热阴极电离规（测量下限510^-11mbar）
8.Varian944-0014：四极质谱控制器（分辨率0.5amu）
9.Keysight34972A：数据采集系统（同步采集20组参数）
10.EdwardsXDS35i：干式涡旋泵（极限压力310^-3mbar）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。