真空装置检测

点击：92丨发布时间：2025-05-26 11:35:48丨关键词：CMA/CNAS/ISO资质，中析研究所，真空装置检测

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参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。

因业务调整，暂不接受个人委托测试，望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师。

检测项目

1.极限真空度测定：采用全压力测量法（110⁻⁴Pa至110⁻⁹Pa）
2.泄漏率测试：氦质谱法（灵敏度≤510⁻Pam/s）
3.抽气速率验证：动态流量法（10L/s至5000L/s）
4.材料放气率分析：静态升压法（≤110⁻⁶Pam/(sm)）
5.热辐射性能测试：黑体辐射法（300-800℃工况下发射率≥0.85）

检测范围

1.不锈钢/铝合金真空腔体（壁厚0.5-50mm）
2.氟橡胶/金属缠绕密封件（耐温-60℃~250℃）
3.涡轮分子泵组（转速20000-90000rpm）
4.陶瓷绝缘组件（介电强度≥15kV/mm）
5.复合分子筛吸附剂（比表面积≥600m/g）

检测方法

1.ASTME493-06(2020)氦质谱检漏标准
2.ISO21360:2019真空泵性能测试规范
3.GB/T3163-2007真空技术术语
4.GB/T32213-2015真空镀膜设备检测规程
5.ISO3529-3:2021真空系统密封性分级标准

检测设备

1.AgilentVS-Series氦质谱检漏仪（分辨率0.1ppm）
2.LeyboldPHOENIXL300检漏系统（灵敏度510⁻mbarl/s）
3.INFICONCDG025D电容薄膜规（量程110⁻⁴~1000mbar）
4.EdwardsXDS35i干式涡旋泵（极限真空510⁻mbar）
5.PfeifferHLT260质谱分析仪（质量数1-100amu）
6.MKS925型残余气体分析仪（分压测量精度5%）
7.VarianWRG-Series宽量程电离规（110⁻⁰~1000Torr）
8.ShimadzuGCMS-QP2020气相色谱质谱联用仪（EI源70eV）
9.KeysightB1500A半导体参数分析仪（电流分辨率1fA）
10.ThermoScientificNicoletiS50FTIR光谱仪（4cm⁻分辨率）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。