分压真空计检测

点击：93丨发布时间：2025-05-22 10:07:07丨关键词：CMA/CNAS/ISO资质，中析研究所，分压真空计检测

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参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。

因业务调整，暂不接受个人委托测试，望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师。

检测项目

1.真空度范围验证：测试量程覆盖10^-5Pa至10²Pa的线性响应特性
2.漏率误差分析：在10^-6Pam³/s条件下校准示值偏差≤3%
3.响应时间测定：从10^-1Pa阶跃变化至10^-3Pa时达到90%稳定值的时间≤5s
4.零点漂移测试：连续工作24小时后零点偏移量≤0.5%FS
5.线性度校准：在量程范围内选取10个标定点进行非线性误差≤1.5%验证

检测范围

1.半导体制造用分子泵组的分压监测模块
2.航天器推进系统氦质谱检漏仪配套传感器
3.真空镀膜设备的工艺腔体压力反馈单元
4.高能物理实验用低温超导磁体真空维持系统
5.医用直线加速器电子枪真空隔离装置

检测方法

1.ASTME2971-22《静态膨胀法真空计校准规程》规定标准漏孔比对法
2.ISO3567:2020《分压真空计动态响应特性测试方法》建立阶跃压力测试模型
3.GB/T3163-2021《真空技术术语》定义基本参数测量要求
4.GB/T34872-2017《电离真空计校准规范》规定参比电极校准流程
5.JJF1716-2018《分压真空计校准规范》明确零点漂移测试环境条件

检测设备

1.INFICONXTC60复合真空校准系统：实现10^-7Pa至1000Pa全量程自动校准
2.AgilentUHV-24四极质谱仪：用于残余气体成分分析与交叉灵敏度测试
3.LeyboldDIVAC0.1数字标准漏孔：提供10^-9至10^-4Pam/s标准漏率源
4.MKS670B智能压力控制器：精度0.25%的压力发生与测量装置
5.PfeifferTPG256A多通道真空计：同时监测6个测点的参考基准仪表
6.EdwardsSTP-4503涡轮分子泵组：建立高真空本底环境（极限压力≤510^-7Pa）
7.VACUBRANDMD4C隔膜真空泵：提供前级粗抽能力（极限压力≤3mbar）
8.Keysight34465A数字万用表：6位分辨率采集传感器输出信号
9.Fluke725多功能过程校准器：模拟/输出4-20mA信号进行回路测试
10.LabVIEWNXG数据采集系统：实现动态响应曲线的实时记录与分析

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。