衍射圈检测
点击：94丨发布时间：2025-05-19 10:58:48丨关键词：CMA/CNAS/ISO资质，中析研究所，衍射圈检测
参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。
因业务调整，暂不接受个人委托测试，望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。
CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师。
检测项目
1.衍射环直径偏差：测量范围0.5μm，分辨率0.01μm
2.环间距均匀性：允许公差2%，采用多点采样分析
3.表面粗糙度（Ra）：检测阈值0.1-10nm，符合ISO4287标准
4.环边缘锐度：量化评估边缘过渡区宽度（＜0.3μm）
5.缺陷密度统计：识别＞0.5μm的划痕或凹坑缺陷
检测范围
1.精密光学透镜：包括非球面透镜、菲涅尔透镜等
2.半导体晶圆：硅片、GaAs基板等半导体材料
3.薄膜涂层：AR/IR镀膜层表面质量评估
4.金属反射镜：高能激光系统用铜/铝基反射镜
5.聚合物光学元件：PMMA、PC材质的衍射元件
检测方法
1.ASTMF2454-18光学元件激光散射测试标准
2.ISO10110-8光学系统表面缺陷评定规范
3.GB/T1185-2006光学零件表面疵病检验方法
4.ISO14997-2011光学元件激光损伤阈值测试
5.GB/T26184-2010光学分划元件通用技术条件
检测设备
1.ZygoVerifireMST干涉仪：波长632.8nm，PV精度λ/100
2.BrukerContourGT-X3轮廓仪：垂直分辨率0.01nm
3.OlympusLEXTOLS5000激光显微镜：12000超分辨成像
4.MitutoyoSURFTESTSJ-410粗糙度仪：评估长度0.25-12.5mm
5.KeyenceVR-6000三维形貌仪：Z轴重复精度0.02μm
6.VeecoNT9100白光干涉仪：最大扫描范围100100mm
7.JenoptikO-INSPECT322复合式测量机：集成CCD与接触探针
8.NikonMM-400测量显微镜：物镜NA0.55，工作距离60mm
北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】
报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期：7~15工作日，可加急。
资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试：支持定制化试验方案。
售后：报告终身可查，工程师1v1服务。
前沿项目