克努曾压力计检测

点击：95丨发布时间：2025-05-14 20:48:30丨关键词：CMA/CNAS/ISO资质，中析研究所，克努曾压力计检测

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参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。

因业务调整，暂不接受个人委托测试，望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师。

检测项目

1.线性度误差：满量程（FS）范围内偏差≤0.5%FS（110^-3~110^-8Torr）
2.重复性误差：三次测量标准差≤0.2%FS
3.零点漂移：8小时温漂≤0.05%FS/℃（205℃）
4.响应时间：阶跃压力变化90%恢复时间≤500ms
5.漏率测试：氦质谱检漏仪测漏率≤110^-9Pam³/s

检测范围

1.半导体制造用分子泵组真空腔体
2.真空镀膜设备工艺腔室（Al₂O₃、TiN镀层）
3.航天器推进系统氙气储罐
4.低温超导磁体杜瓦容器（液氦环境）
5.粒子加速器束流管道（不锈钢316L材质）

检测方法

ASTME2971-22《静态膨胀法真空标准装置校准规程》
ISO3567:2011《真空计与标准规管比对方法》
GB/T34874-2017《电容薄膜真空计检定规程》第5.3条款
GB/T32213-2015《真空技术术语》第4.2.7条定义
JJF1716-2018《电容式真空计校准规范》动态比对法

检测设备

1.INFICONXTC-1003：量程110^-3~110^-10Torr，配备双通道电离规
2.AgilentUHV-24：极限真空510^-11mbar，带四极质谱分析模块
3.LeyboldCTR90：涡轮分子泵组（抽速900L/s）+干泵系统
4.MKS925B：高精度电容薄膜规（0.1%~100%FS非线性补偿）
5.PfeifferHPT200：磁悬浮转子规（测量不确定度3%）
6.EdwardsAPG-L：压电晶体真空传感器（10^-1~10³Pa量程）
7.CanonANELVAMRG-1000：残余气体分析仪（1~200amu）
8.VarianUHV-490：宽量程电离规（带自动量程切换功能）
9.KurtJ.LeskerPDR2000：数字式压力显示单元（RS485接口）
10.ShimadzuGP-100：气体微流量控制器（0.01~100sccm调节）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。