电子枪焦点检测

点击：98丨发布时间：2025-05-14 20:04:26丨关键词：CMA/CNAS/ISO资质，中析研究所，电子枪焦点检测

参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。

因业务调整，暂不接受个人委托测试，望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师。

检测项目

1.焦点直径测量：分辨率≤0.1μm@30kV加速电压

2.束流密度分布：径向偏差≤5%@10mA工作电流

3.焦点稳定性测试：1小时内漂移量≤0.5%FS

4.阴极发射均匀性：场致发射电流波动≤3%

5.加速电压波动：0.05kV@20kV基准值

6.电磁透镜像差系数：球差系数Cs≤1.2mm

1.金属材料：不锈钢基板镀层、钛合金焊接接头

2.半导体器件：硅晶圆刻蚀结构、GaAs微波元件

3.陶瓷基材：Al₂O₃绝缘层、SiC耐高温涂层

4.高分子材料：聚酰亚胺薄膜表面改性层

5.医疗器械：钴铬合金心脏支架表面处理层

1.ASTME3070-16:电子束流密度分布测试标准方法

2.ISO14606:2015:场发射阴极均匀性评估规程

3.GB/T28871-2012:电子光学系统加速电压稳定性测试规范

4.IEC61340-4-7:2017:电子枪电磁兼容性测试标准

5.GB/T35031-2018:真空镀膜设备电子枪性能验收标准

1.ZeissSigma500场发射扫描电镜：配备Inlens二次电子探测器，分辨率0.8nm@15kV

2.KeyenceVK-X1000激光共聚焦显微镜：Z轴重复精度0.02μm

3.ThermoFisherScientificAutoProbeCP-R型束流分析仪：量程0.1-200mA,精度0.25%FS

4.Agilent3458A数字万用表：8.5位分辨率,DCV基本精度0.0006%

5.Keithley2636B源表：脉冲模式上升时间<1μs,最大电压200V

6.OmicronUHV扫描隧道显微镜：XYZ方向定位精度0.03nm@10μm量程

7.HamamatsuC10910D电子倍增CCD：量子效率>45%@400nm波长

8.PfeifferVacuumHiPace700分子泵组：极限真空度510⁻⁸mbar

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

其他检测