分子真空计检测

点击：912丨发布时间：2025-03-24 15:11:43丨关键词：CMA/CNAS/ISO资质，中析研究所，分子真空计检测

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参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。

因业务调整，暂不接受个人委托测试，望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师。

检测项目

1.真空度测量范围：10^-3~10^-8Pa量程验证

2.线性度误差：全量程范围内≤1.5%FS

3.零点漂移：24小时稳定性≤0.5%读数

4.响应时间：达到90%测量值耗时≤3秒

5.温度系数：20~50℃范围内≤0.05%/℃

检测范围

1.半导体制造用分子泵机组真空监测系统

2.同步辐射装置超高真空管道系统

3.航天器推进剂贮箱真空维持装置

4.电子显微镜样品室真空环境监控单元

5.核聚变实验装置真空隔离模块

检测方法

1.ASTME2971-22《分子真空计校准标准规程》

2.ISO3567:2020《真空计与标准漏孔比对方法》

3.GB/T3163-2007《真空计技术条件与试验方法》

4.JJG2024-2018《电离真空计检定规程》

5.DIN28416:2019《超高真空系统测量规范》

检测设备

1.AgilentUHV-24复合真空校准系统（10^-3~10^-11Pa）

2.LeyboldCTR90全自动校准工作站（含温控模块）

3.INFICONBPG400标准漏孔组（漏率范围110^-6~110^-12Pam/s）

4.MKS670B智能信号采集分析仪（24位AD精度）

5.EdwardsXT1000涡轮分子泵组（极限压力510^-9Pa）

6.PfeifferHPT200氦质谱检漏仪（灵敏度110^-13Pam/s）

7.CanonANELVAMRG-1000参比真空规管（0.25%精度）

8.ShimadzuGCMS-QP2020残余气体分析系统（1~300amu）

9.VarianHS-6热阴极电离规组（10^-3~10^-8Pa）

10.KurtJ.LeskerATC-2000自动温控试验箱（-40~150℃）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。