极限真空检测

点击：916丨发布时间：2025-03-10 16:13:53丨关键词：CMA/CNAS/ISO资质，中析研究所，极限真空检测

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参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。

因业务调整，暂不接受个人委托测试，望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师。

检测项目

极限真空度：≤1×10^-7 Pa（静态）

泄漏率检测：≤1×10^-9 mbar·L/s（氦质谱法）

抽气速率测试：100~5000 m³/h（动态平衡法）

温度稳定性：-196°C~300°C（液氮至高温循环）

气体成分分析：残留气体分压≤5×10^-6 Torr

检测范围

半导体制造设备（如刻蚀腔体、CVD反应室）

航空航天密封部件（燃料储罐、舱门密封环）

真空镀膜设备（光学镀膜腔、磁控溅射靶材）

医疗灭菌设备（高压灭菌器真空系统）

低温超导装置（液氦冷却系统真空夹层）

检测方法

ASTM E493-06(2020)：静态升压法测定系统泄漏率

ISO 3567:2011：真空室极限压力测试规程

GB/T 3163-2020：四极质谱仪残留气体分析方法

ASTM F998-12：半导体设备真空抽气速率计算标准

GB 3463-2019：真空系统温度交变试验技术规范

检测设备

Agilent 5995B 四极质谱仪：气体成分分析，分辨率0.5 amu

INFICON ELT3000 氦检漏仪：灵敏度1×10^-12 mbar·L/s

Leybold MAGi 520 电离真空计：量程1×10^-11~1000 Pa

Pfeiffer HLT 260 涡轮分子泵：极限真空5×10^-8 mbar

ZDF-5227 复合真空计（国标认证）：0.1~1×10^-5 Pa全量程测量

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。