入射平面检测

点击：911丨发布时间：2025-05-12 11:50:36丨关键词：CMA/CNAS/ISO资质，中析研究所，入射平面检测

参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。

因业务调整，暂不接受个人委托测试，望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师。

检测项目

1.平面度偏差：测量范围0.1μm至50μm，精度等级达λ/20（λ=632.8nm）
2.表面粗糙度：Ra值0.01-1.6μm，Rz值0.1-10μm
3.反射率均匀性：波长范围400-1100nm，允许偏差1.5%
4.入射角稳定性：角度控制精度0.05，重复性误差≤0.01
5.局部曲率半径：测量范围R5mm-R5000mm，分辨率0.1mm

检测范围

1.光学玻璃：K9、熔融石英、BK7等透光材料
2.金属镀膜材料：铝膜、银膜、金膜等真空镀层
3.半导体晶圆：硅片（200mm/300mm）、砷化镓基板
4.精密模具：注塑模具镜面（VDI3400标准）
5.功能涂层：AR增透膜、ITO导电膜、DLC类金刚石涂层

检测方法

ASTME430-17规定球面光度法测量镜面反射特性
ISO10110-5:2015定义光学元件表面缺陷评价体系
GB/T1185-2006明确光学零件表面疵病检验方法
ISO4287:1997规定表面粗糙度参数计算规则
GB/T13323-2009规定平面光学元件面形公差标准

检测设备

1.ZygoVerifireHDX激光干涉仪：波长632.8nm，PV值重复性0.5nm
2.BrukerContourGT-X3白光干涉仪：垂直分辨率0.1nm，最大扫描范围10mm
3.MitutoyoSURFTESTSJ-410粗糙度仪：行程长度17.5mm，滤波器类型2CR/PC75
4.ShimadzuISR-2600积分球光谱仪：波长范围360-2500nm，光度线性度0.3%
5.TaylorHobsonPGIOptics轮廓仪：Z轴量程300μm，横向分辨率0.8μm
6.OptofluxOFR-200全自动偏光仪：角度分辨率0.001，最大样品直径200mm
7.KeyenceVK-X3000激光显微镜：1200万像素CCD，Z轴重复精度3nm
8.OlympusOLS5000共聚焦显微镜：405nm激光光源，XY分辨率120nm
9.TriopticsOptiSphericIFR干涉仪：动态范围50λ，支持F数0.5-20系统
10.AETechnoAPM-800平面度仪：气浮导轨结构，测量不确定度

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

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