三氯化硼检测

点击：920丨发布时间：2025-02-21 15:45:34丨关键词：CMA/CNAS/ISO资质，中析研究所，三氯化硼检测

上一篇：三氧化二钐检测丨下一篇：三溴化磷检测

参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。

因业务调整，暂不接受个人委托测试，望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师。

检测项目

主含量测定：纯度≥99.9%（GC-FID法，检测限0.01%）

金属杂质分析：Fe、Ni、Cu等重金属≤1ppm（ICP-MS法）

水分检测：卡尔·费休滴定法（KF-831库仑法，精度0.1μg）

游离氯检测：离子色谱法（ICS-600，检出限0.05mg/kg）

热稳定性测试：DSC差示扫描（升温速率10℃/min，温度范围-50~300℃）

检测范围

电子级三氯化硼气体（半导体蚀刻工艺原料）

医药中间体合成催化剂（有机硼化合物制备）

工业级BF3贮存容器残留检测

高纯气体充装系统洁净度验证

危险化学品运输包装材料兼容性测试

检测方法

ASTM E2694：气体中总杂质含量的标准测试方法

ISO 15761：钢瓶包装气体采样规范

GB/T 23961-2022：工业用三氯化硼技术要求

USP <467>：挥发性杂质残留测定

SEMI C3.32：电子气体中颗粒物检测指南

检测设备

Agilent 7890B气相色谱仪：配备FID/TCD双检测器，支持多维中心切割技术

Thermo Fisher iCAP RQ ICP-MS：质量范围2-260amu，检出限低至ppt级

Mettler Toledo C30卡尔费休水分仪：动态极化电极技术，支持气体直接进样

TA Instruments Q20差示扫描量热仪：Modulated DSC技术，分辨率0.1μW

Pfeiffer Vacuum HLD 600检漏仪：氦质谱灵敏度1×10⁻¹² mbar·L/s

技术优势

CNAS认可实验室（注册号详情请咨询工程师），检测报告国际互认

CMA资质认定涵盖GB、ISO、ASTM等16项检测标准

配备Class 100洁净室及特气专用采样系统

金属杂质检测能力达0.01ppb（SEMI E56标准）

在线质谱实时监测系统实现工艺过程分析