芯片浓度检测

点击:961丨发布时间:2026-02-28 05:39:15丨关键词:CMA/CNAS/ISO资质,中析研究所,芯片浓度检测

上一篇:介电测试丨下一篇:返回列表

参考周期:常规试验7-15工作日,加急试验5个工作日。

因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。

CMA/CNAS等证书详情,因时间等不可抗拒因素会发生变更,请咨询在线工程师。

检测项目

1.主体元素浓度分析:硅含量,氧含量,碳含量,氮含量。

2.掺杂剂元素分析:硼浓度,磷浓度,砷浓度,锑浓度。

3.重金属杂质分析:铁含量,铜含量,镍含量,铬含量,锌含量,铝含量。

4.碱金属与碱土金属分析:钠含量,钾含量,钙含量,镁含量。

5.阴离子杂质分析:氯离子浓度,氟离子浓度,硫酸根离子浓度,硝酸根离子浓度。

6.有机污染物分析:总有机碳含量,特定溶剂残留量。

7.高纯试剂纯度分析:过氧化氢浓度,氢氟酸浓度,盐酸浓度,硫酸浓度,氨水浓度。

8.光刻胶成分分析:固体含量,金属杂质含量,阴离子含量。

9.化学机械抛光液分析:磨料颗粒浓度,氧化剂浓度,添加剂浓度,金属杂质含量。

10.晶圆表面污染物分析:表面金属浓度,表面颗粒物计数。

11.特种气体杂质分析:硅烷纯度,磷烷中杂质含量,砷烷中杂质含量。

12.电镀液成分分析:主盐金属离子浓度,添加剂浓度,杂质金属离子含量。

检测范围

单晶硅抛光片、硅外延片、砷化镓晶圆、光刻胶、显影液、蚀刻液、清洗液、化学机械抛光液、高纯化学试剂、特种电子气体、电镀液、去离子水、晶圆表面污染物、溅射靶材、封装材料

检测设备

1.电感耦合等离子体质谱仪:用于超痕量级金属及掺杂元素的精确定量分析;具备极高的灵敏度与多元素同时检测能力。

2.电感耦合等离子体发射光谱仪:用于常量及微量元素的浓度测定;分析速度快,线性范围宽。

3.原子吸收光谱仪:用于特定金属元素的定量分析;设备操作相对简便,针对性强。

4.离子色谱仪:用于样品中阴离子及碱金属阳离子的分离与定量;对痕量离子分析效果优异。

5.总有机碳分析仪:用于检测水溶液或溶剂中的总有机碳含量;评估有机污染物水平。

6.气相色谱-质谱联用仪:用于复杂基质中有机挥发物及半挥发物的定性与定量分析。

7.傅里叶变换红外光谱仪:用于材料中有机官能团及部分无机成分的定性及半定量分析。

8.紫外可见分光光度计:基于特定化学反应对溶液中目标成分进行定量分析;常用于试剂浓度测定。

9.自动电位滴定仪:用于酸、碱、氧化剂、还原剂等含量的精确滴定分析。

10.激光剥蚀进样系统:与质谱或光谱仪联用,实现对固体样品(如晶圆)表面及内部成分的原位、微区分析。

北京中科光析科学技术研究所【简称:中析研究所】

报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期:7~15工作日,可加急。

资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试:支持定制化试验方案。

售后:报告终身可查,工程师1v1服务。